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发布:2024/5/1 15:24:39 来源:shxj365
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单晶炉简介编辑单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。提高稳定性。支撑柱在炉体支撑的上面,便于下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计上筒和上盖可以上升并向两边转动上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。

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放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,3,在运行的电流互感器二次回路上工作时,应采取下列安全措施。3.1严禁将电流回路断。3.2为了可靠地将电流互感器二次线圈短路,必须使用短路片和短路线,禁止使用导线缠绕。3.2禁止在电流互感器与短路端子之间的回路和导线上进行任何工作。4,在运行中的电压互感器二次回路上工作时,应采取下列安全措施。4.1严格防止短路或接地4.2应使用绝缘工具,戴绝缘手套,必要时在工作前停用有关继电保护装置。4.3接临时负载时,必须装有专用的关和熔断器。4.4二次回路通电试验时,为防止由二次侧向一次反变压,除将二次回路断外,还应取下一次熔断器。4.5二次回路通电或耐压试验前,应通知值班员和有关人员,并派人看守现场,检查回路,确认无人工作后方可加压。

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