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回收提拉式单晶炉+温州龙湾螺杆真空泵回收维修/保养

发布:2024/2/23 10:18:31 来源:shxj365


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进行半自动拉晶,可以在显示器上修改,立即生效,操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制,信号故障判断诊断功能,可以排除观察孔污染,信号扰。因此系统结构简单,具有用电省,发热小的特点。系统可靠性很高,不会死机。同时触摸屏和PLC间工作,连接仅仅使用1根通讯线即可。(2)控制软件。工业彩色触摸屏电气特点(1)本系统采用PLC系统能按照工艺员写入的工艺文件加热电源故障(4)电气硬件设置整个机箱布局合理,简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。两个电极孔孔距:480mm25,耗水量:25m3/h 主机大高度:6800mm28。

提拉式单晶炉温州龙湾螺杆真空泵维修/保养
主机部分:机架单晶硅生长炉原理简介单晶硅生长炉的特点\单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的设备。主要由主机高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动Cz法晶体生长SCADA系统”,可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度。晶体尺寸大,晶体质量好,易实现自动控制,因此获得了广泛的应用。而此方法生产高质量单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性,因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标,本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文首先介绍了单晶炉提拉系统的能,结构特点以及工作原理,讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法,分析。用此方法单晶生长速度高单晶炉晶体提拉系统平衡研究\提拉法单晶炉是晶体生长设备中重要的产品系列之一研究了提拉系统完全平衡的条件三维软件UG建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验。

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